磁控濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一，因其高致密度、優(yōu)良附著性等優(yōu)點(diǎn)，在電子薄膜、光學(xué)薄膜、光電薄膜、磁性薄膜和超導(dǎo)薄膜等技術(shù)領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。隨著上述領(lǐng)域的高速發(fā)展，濺射靶材的需求量急劇增加。濺射靶材通常有兩種：平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材。

平面靶材利用率一般只有20%~30%；隨著技術(shù)的進(jìn)步，逐漸開(kāi)始向旋轉(zhuǎn)靶過(guò)渡，旋轉(zhuǎn)靶在使用過(guò)程中能夠圍繞在固定的磁控濺射設(shè)備上旋轉(zhuǎn)，可360度均勻刻蝕靶面，這樣均勻的使用可使鍍膜均勻、穩(wěn)定性高、成品率高，靶材利用率可高達(dá)80%以上，在使用過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)靶材“結(jié)瘤”現(xiàn)象。

綁定焊接率----靶材濺射質(zhì)量的關(guān)鍵

采用綁定貼合的手段是旋轉(zhuǎn)靶材制造行業(yè)最重要的一類旋轉(zhuǎn)靶材制備手段，把靶材分節(jié)綁定在金屬襯管(通常為不銹鋼或者鈦材料制備)上，以提高導(dǎo)熱性能和強(qiáng)度。

目前旋轉(zhuǎn)靶材的綁定基本工藝為：將內(nèi)表面金屬化的靶管套在經(jīng)過(guò)處理的襯管外表面，靶管和金屬襯管之間通過(guò)金屬焊料（通常為金屬銦）粘結(jié)。在綁定的過(guò)程中，需要對(duì)金屬襯管和靶管進(jìn)行加熱，然后把熔化的金屬焊料填充到靶管和金屬襯管的縫隙里，隨后冷卻、焊料固化，將靶管牢牢地固定在襯管上。

綁定焊接率（貼合率）的質(zhì)量直接關(guān)系到靶材濺射過(guò)程中的導(dǎo)熱效果，如果綁定后靶管、背管和銦層貼合效果不夠，在濺射過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)導(dǎo)電不良，散熱效果不好，導(dǎo)致局部受熱不均勻，當(dāng)溫度超過(guò)焊料的熔點(diǎn)，金屬焊料就會(huì)熔化流出滴落在膜面上，或者導(dǎo)致靶材受熱不均勻開(kāi)裂（陶瓷靶），開(kāi)裂的靶材碎片損傷薄膜表面的質(zhì)量。因此對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行高質(zhì)量的綁定貼合，提升焊接率（貼合率）可以有效提升后續(xù)磁控濺射鍍膜的質(zhì)量。

德國(guó)析塔SITA表面清潔度儀---提高旋轉(zhuǎn)靶材綁定焊接率的關(guān)鍵

德國(guó)析塔SITA清潔度儀可以量化靶管表面清潔度情況，通過(guò)德國(guó)析塔SITA清潔度儀實(shí)時(shí)測(cè)量靶管表面清潔度情況，確保后續(xù)金屬化及綁定貼合工序時(shí)靶管表面無(wú)油污，提高焊接率。

RFU：relative fluorescence units (相對(duì)熒光單位)，常被用于做表面殘留污染物檢測(cè)，數(shù)值越大，則表明測(cè)試點(diǎn)的各類有機(jī)污染物（拉伸油、切削油、清洗劑、脫模蠟、膠黏劑、助焊劑等）殘留量越大。

德國(guó)析塔SITA表面清潔度儀采用共焦法原理，通過(guò)光源發(fā)射出最佳波長(zhǎng)的UV光檢測(cè)金屬表面的污染物，內(nèi)置的傳感器精準(zhǔn)探測(cè)污染物引起的熒光強(qiáng)度，該熒光強(qiáng)度的大小取決于基材表面有機(jī)物殘留情況，從而能精準(zhǔn)量化檢測(cè)金屬表面清潔度。

旋轉(zhuǎn)靶材在綁定貼合前的清潔度量化管控客戶實(shí)例

某國(guó)內(nèi)靶材制造商，在旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行研磨、切割清洗后會(huì)對(duì)靶管進(jìn)行清潔度量化管控，確保靶管內(nèi)表面無(wú)肉眼可見(jiàn)油污或清洗劑殘留后才允許進(jìn)行后續(xù)的金屬化及綁定貼合工序，以確保綁定焊接率（貼合率）。

測(cè)量過(guò)程

樣品：5個(gè)樣品

測(cè)量?jī)x器：德國(guó)析塔SITA表面清潔度檢測(cè)儀CleanoSpector

測(cè)量模式：RFU值（相對(duì)熒光單位，RFU值越高，污染程度越大）

測(cè)量值：在靶管上隨機(jī)選取10個(gè)測(cè)試點(diǎn)，測(cè)試結(jié)果取平均值；

以下為使用德國(guó)析塔SITA清潔度儀測(cè)試靶管不同位置清潔度的測(cè)試結(jié)果，由于油污分布不均勻，因此不同位置的清潔度也不一樣：

測(cè)量數(shù)據(jù)分析

如上圖所示，可以得出以下結(jié)論：

①剛燒結(jié)完的靶管工件，RFU值低，說(shuō)明靶材表面很干凈，無(wú)油污

②靶管燒結(jié)完后在倉(cāng)庫(kù)放置期間，受到污染, RFU值升高

③開(kāi)裂殘靶次品RFU值高，清潔度很差

④研磨、切割后的靶管未清洗前RFU值高，說(shuō)明表面不干凈，存在污染

⑤清洗后的靶管RFU值低，說(shuō)明靶管清洗效果較理想

德國(guó)析塔SITA表面清潔度儀能量化測(cè)出靶管清洗前后的清潔度差異。在旋轉(zhuǎn)靶材的綁定工藝前，使用德國(guó)析塔SITA表面清潔度儀可以更好幫助企業(yè)判斷靶管表面清洗情況，以提供足夠干凈的靶管進(jìn)行后續(xù)綁定工藝，從而保證磁控濺射鍍膜的質(zhì)量。

翁開(kāi)爾是德國(guó)析塔SITA中國(guó)指定代理，歡迎致電【18566398802】咨詢更多關(guān)于德國(guó)析塔SITA表面清潔度檢測(cè)儀產(chǎn)品信息、技術(shù)應(yīng)用和客戶案例等。